也称为溅射离子泵或离子吸气泵，是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应，将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并?*地封存在离子泵内。离子泵可以 10-5 10-12mbar 的范围内运行，氮气抽取速度范围 0.2 1200 l/s、/span>
