特点

备注

温度范围�?K-400K

10英寸不锈钢真空室

8英寸镀镍无氧铜防热辐射屎�/span>

2.25英寸镀金无氧铜样品�?/span>

可升�?英寸样品�?/span>

高纯石英观察窖�/span>

蓝宝石防热辐射屏冷窗

多至6个三维微操作探针臁�/span>

可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臁�/span>

控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计�?#177;12mK）、加热器

温度计安装位置：

1、冷头温度计，用于诊�?/span>

2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温

3、样品温度计，用于精确测量样品温�?/span>

4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换栶�/span>

三级减振系统样品台综合振� < 1微米

样品台振� < 100nm

7:1显微观测系统�?微米分辨率，环形光源

可升�?6:1显微观察系统

规格及技术参�?/span>

制冷方式

闭循环制冷，无需液氦

温度范围

7K-400K

（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度<4K，安装高温隔热台高温度可�?00K（�/span>

温度稳定�?/span>

优于50mK

泵抽真空时间

机械泵约45分钟

分子泵约10分钟

降温时间

�?�?.5小时（DE204P冷头（�/span>

真空腓�/span>

不锈钢真空腔

直径10英寸

上盖安装高纯石英窗口

防热辐射屎�/span>

镀镍无氧铜防热辐射屎�/span>

直径8英寸

上盖蓝宝石冷窖�/span>

热连接至1级冷夳�/span>

样品�?/span>

镀金无氧铜样品�?/span>

2.25英寸直径

样品台连�?/span>

接地（标准）

绝缘（可选）

偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）

偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）

探针臂位移台

手动驱动

不锈钢焊接波纹管连接

X方向（轴向）2英寸行程

Y方向（横向）1英寸行程（标准）

2英寸行程（可选）

Z方向（垂直方向）0.5英寸行程

刻度10微米

灵敏�?微米

振动

三级减振，样品台综合振动优于1微米

温度计安裄�/span>

4个温度计�?套加热器

4个温度计位置９�/span>

1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升�?/span>

1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温

1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊�?/span>

1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温

2套加热器位置９�/span>

1�?0W筒状加热器安装在样品台底部用于控�?/span>

1�?00W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升�?/span>

显微观测系统

标准7:1显微镛�/span>

4.2毫米-0.61毫米视野

工作距离�?9毫米

数值孔径：0.024-0.08

光源：环形光溏�/span>

分辨率：3微米

安装手动三维位移�?/span>

高分辨率24英寸显示�?/span>

可�?6:1显微镛�/span>

12.8毫米-0.8毫米视野

工作距离�?9毫米

数值孔径：0.0090-0.15

光源：环形光溏�/span>

分辨率：2微米

安装手动三维位移�?/span>

高分辨率24英寸显示�?/span>

探针臁�/span>

直流/低频探针臁�/span>

微型同轴电缆

接头：SMA或BNC

频率�?-100兆赫典�/span>

阻抗�?0欧姆

包含接地屏蔽接头

三同轴电缅�/span>

接头：三同轴接头

频率�?-100兆赫典�/span>

阻抗�?0欧姆

卡尔文探钇�/span>

电缆：同轴或三同轳�/span>

接头：SMA/BNC/三同轳�/span>

频率�?-100兆赫典�/span>

针尖材料９�/span>

钨针（标准）

镀金钨针（可选）

铍铜镀金（可选）

针尖半径９�/span>

0.5微米（其他半径可选）

GSG高频探针臁�/span>

0-40GHz

接头：K型接夳�/span>

电缆：半刚性同轴电缅�/span>

针尖：钨针或铍铜针尖

0-50GHz

接头�?.4

电缆：半刚性同轴电缅�/span>

针尖：钨针或铍铜针尖

0-67GHz

接头�?.85

电缆：半刚性同轴电缅�/span>

针尖：钨针或铍铜针尖

光纤探针臁�/span>

紫外/可见 � 可见/红外

接头：SMA905公头

光纤样品端：抛光裸头

尺寸�?00微米-400微米

单模或多樠�/span>