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ARS纳米级超稳超低振动型低温探针台的设计具有极大的灵活性,可用于无损器件测试。探针配置和系统设计可以根据您的具体实验要求进行定制 系统标准温度配置为低?K,可?50K?00K高温度选项、/span>
探针台采用ARS闭式循环制冷机,ARS制冷机为气动驱动GM制冷机,它具有一级冷台制冷能力高和固有的低振动相结合的特点,使其成为纳米科学和敏感器件测量的理想选择 ARS探针台都采用高质量的真空元件,高抛光的不锈钢真空腔室和镀镍的高纯铜辐射屏蔽提供了干净的样品环境。低发射率和高导热率的镀镍和铜防热辐射屏使样品台具有更大的冷却能力、/span>
ARS不仅是探针台的生产商,也是制冷机的生产商,这确保了集成制造的一致性,并能对系统提供整体的售后保障、/span>
应用案例9/span>
电磁特?/span>
微波特?/span>
低频,高频特?/span>
MEMS
纳米电子?/span>
超导特?/span>
纳米器件光电性能
量子点及纳米纾/span>
单电孏/span>
低电流物理特?/span>
特点 |
备注 |
温度范围9 6K-350K |
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振动优于50纳米 |
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10英寸不锈钢真空室 |
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7英寸镀镍无氧铜防热辐射屎/span> |
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2.25英寸镀金无氧铜样品?/span> |
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高纯石英观察窖/span> |
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蓝宝石防热辐射屏冷窗 |
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多至6个三维微操作探针臁/span> |
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可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臁/span> |
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控温系统:高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计?#177;12mK)、加热器 |
温度计安装位置: 1、冷头温度计,用于诊?/span> 2、样品台温度计及加热器,用于控制样品台温度,实现精确控温 3、样品温度计,用于精确测量样品温?/span> 4、冷屏温度计及加热器,用于控制加热冷屏温度,实现快速换栶/span> |
7:1显微观测系统?微米分辨率,环形光源 |
可升?6:1显微观察系统 |
规格及技术参?/span> |
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制冷方式 |
闭循环制冷,无需液氦 |
温度范围 |
6K-350K (可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 < 4K,安装高温隔热台高温度可?00K(/span> |
温度稳定?/span> |
优于50mK |
泵抽真空时间 |
机械泵约45分钟 分子泵约10分钟 |
降温时间 |
?小时?0K(DE2010S冷头(/span> |
真空腓/span> |
不锈钢真空腔 直径10英寸 上盖安装高纯石英窗口 |
防热辐射屎/span> |
镀镍无氧铜防热辐射屎/span> 直径7英寸 上盖蓝宝石冷窖/span> 热连接至1级冷夳/span> |
样品?/span> |
镀金无氧铜样品?/span> 2.25英寸直径 |
样品台连?/span> |
接地(标准) 绝缘(可选) 偏压,通过同轴电缆至外部BNC接头(可选) 偏压到Guard,通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头(可选) |
探针臂位移台 |
手动驱动 不锈钢焊接波纹管连接 X方向(轴向)2英寸行程 Y方向(横向)1英寸行程(标准) 2英寸行程(可选) Z方向(垂直方向)0.5英寸行程 刻度10微米 灵敏?微米 |
振动 |
氦气减震+ 30-50纳米(峰对峰(/span> |
温度计安裄/span> |
4个温度计?套加热器 4个温度计位置9/span> 1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升?/span> 1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温 1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊?/span> 1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近,用于精确测温 2套加热器位置9/span> 1?0W筒状加热器安装在样品台底部用于控?/span> 1?00W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升?/span> |
显微观测系统 |
标准7:1显微镛/span> 4.2毫米-0.61毫米视野 工作距离?9毫米 数值孔径:0.024-0.08 光源:环形光溏/span> 分辨率:3微米 安装手动三维位移?/span> 高分辨率24英寸显示?/span> 可?6:1显微镛/span> 12.8毫米-0.8毫米视野 工作距离?9毫米 数值孔径:0.0090-0.15 光源:环形光溏/span> 分辨率:2微米 安装手动三维位移?/span> 高分辨率24英寸显示?/span> |
探针臁/span> |
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直流/低频探针臁/span> |
微型同轴电缆 接头:SMA或BNC 频率?-100兆赫典/span> 阻抗?0欧姆 包含接地屏蔽接头 三同轴电缅/span> 接头:三同轴接头 频率?-100兆赫典/span> 阻抗?0欧姆 卡尔文探钇/span> 电缆:同轴或三同轳/span> 接头:SMA/BNC/三同轳/span> 频率?-100兆赫典/span> 针尖材料9/span> 钨针(标准) 镀金钨针(可选) 铍铜镀金(可选) 针尖半径9/span> 0.5微米(其他半径可选) |
GSG高频探针臁/span> |
0-40GHz 接头:K型接夳/span> 电缆:半刚性同轴电缅/span> 针尖:钨针或铍铜针尖 0-50GHz 接头?.4 电缆:半刚性同轴电缅/span> 针尖:钨针或铍铜针尖 0-67GHz 接头?.85 电缆:半刚性同轴电缅/span> 针尖:钨针或铍铜针尖 |
光纤探针臁/span> |
紫外/可见 可见/红外 接头:SMA905公头 光纤样品端:抛光裸头 尺寸?00微米-400微米 单模或多樠/span> |
典型案例
PS-CCMicro-photoluminescence cryogen-free probe station with custom piezoelectric-positioned XY motion. |
PS-CCUltra-low vibration probe station with XYZ motion and objective lens |
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