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西安德盟特半导体科技有限公司
证：工商信息已核宝br /> 访问量：5770
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产品简今/div>
| 常规配置及参?/th> | |
|---|---|
| 电源输入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波电源功率: | 6KW?.45GHz（/td> |
| 样品?span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">: | 8英寸水冷铜台 |
| 腔体生长压力: | 10-200Torr |
| 气体管路: | 标配4路（H2、O2、CH4、N2（/td> |
| 反应腔体: | 卧式蝶形上翻盖金属水冷腔佒br style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/>（带4个观察窗（/td> |
| 主机柜尺寷span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">: | 900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) （约320Kg（/td> |
| 控制柜尺寷span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">: | 570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) （约240Kg（/td> |
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