应用领域９�/span>

适用于电子半导体、大规模集成电路、MAMS、单晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化镓、碳化硅、科研开发、实验分析等、�/p>

特点９�/span>

� 适用于氮气、氢气、氧气、氩气、氦气和氨气，原料气不低�?9.999%

� 深度脱除杂质O₂、H₂O、CO、CO₂、H₂、N₂、CH₄和NMHC�?ppb/10ppb

� 双塔交替吸附再生，单塔催化，终端Getter吸附，全自动连续运行

� EP级抛光不锈钢管件

� 配置0.003μm过滤器，去除率可�?9.999999% /99.99999%

� 西门� PLC 可接入DCS系统

� 安全报警功能完善

� 可提供远程云服务

� 超净环境中生产组裄�/p>

� 气体处理�?0-20000Nm³/h