猎户� 3100S 空气分子污染物监测系绞�/strong>

痕量级AMC空气分子污染� Ma Mb(NH3，HCL，HF等）监测---半导体行业应�?/span>

光刻工艺洁净室内痕量�?/span>NH3，HCL，HF气体皃�/span>超高灵敏度、实时测野�/span>

实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响，对很多微量污染物极为敏感，比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来极大的危害，尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展，已经减少了长时间持续实时监测，而实际上空气分子污染＇�/span>AMC）的实时测量对产品质量的好坏至关重要、�/span>

猎户�?100S系列空气分子污染物监测系统基于CEAS（腔增强吸收光谱）技术连续分析仪器，将增加半导体器件阻抗一致性、保证更长的过滤器寿命、减少生产过程的停工时间、�/span>

ETG HMI（人机交互界面）软件可以实时观察、实时测量、实时操作对不同空间不同位置的NH3、HCL、HF进行分析，软件专门针对半导体行业开发，对于深紫外光刻工艺过程中监测与控刵�/span>空气分子污染＇�/span>AMC）提供有力的支持，软件集成了多点采样（MS）控制功能，具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能、�/span>

猎户� 3100S 系统:完善的空气分子污染（AMC）监浊�/span>

实时监测空气分子污染＇�/span>AMC）对于半导体生产过程极为重要、�/span>

快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一、�/span>

深紫外光刻工艺特别关注氨�?/span>胺类�?/span>N-甲基吡咯烷酮NMP�?/span>酸类等浓度测量，当这些气体与化学放大光刻胵�/span>反生反应时，将深深的影响半导体器件质量、�/span>

传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法，这些方法分析速度太慢，操作过程太复杂，昂贵并且测量结果不精确、�/span>

ETG采用被证明的CEAS（腔增强吸收光谱）技术解决AMC（空气分子污染物）监测难题，可快速测量痕量级NH3、HCL、HF，采用脉冲荧光法测量SO2，采用增强型GC-FID测量VOCs、�/span>

猎户� 3100S系列空气分子污染物监测系统测量痕量级NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性，是半导体行业洁净室AMC（空气分子污染）测量的有力工具、�/span>

猎户� 3100S也集成了多点监测系统＋�/span>可依庎�/span>将气佒�/span>押�/span>送到分析仪或传感器，并读出测量结果、�/span>猎户� 3100S内嵌的报警、报告、分析软件是由多年半导体行业经验的工程师集体开发、�/span>

猎户� 3100S使用Ethernet�?/span>RS485/RS232�?-20mA模拟模块可以输出来自4~6台分析仪或传感器的数据、�/span>

毎�/span>�?/span>分析�?/span>配有内置计算朹�/span>＇�/span>Linux OS），可进衋�/span>数据存储和数据输出，还支持远程网络控制，通过互联网可以连�?/span>ETG公司总部或者当地经销商服务商，进行操作或者诊�?/span>、�/span>

使用者可以通过网络浏览器比妁�/span>IE、Chrome等世界任意可以联网的地方进行操作，远程操作可实现多级管理权限控制和操作、�/span>

猎户� 3100S系统配置

增强灵敏�?/span>

仪器基于CEAS（腔增强吸收光谱）技术，极简使用、便捷操作，所有部件（包括内置真空泵、键盘、鼠标、显示器等）几分钟内可开始记录数据，其他大气中的水汽、CO2、O2、甲烷等不会对HCL、HF、NH3等测量构成交叉干扰。内置计算机�?/span>以存储大量数据到内置硬盘上，可同过数字接口或者模拟接口传输数据，可通过互联网远程存储或记录数据，高质量的数据库，适合于苛刻的半导体痕量级气体应用、�/span>

检测限/精度(1-��) :HCl0.1 ppb

HF0.1 ppb

NH3< 0.1 ppb

快速响应时闳�/span>

每个通道5科�/span>

系统即插即用

系统可在洁净间几分钟内简单操作完戏�/span>

低成�?/span>

囟�/span>CEAS＇�/span>腔增强吸收光谰�/span>（�/span>系统不需要特别的维护保养和备品备件，所以很好的降低了使用者成本、�/span>

CEAS（腔增强吸收光谱（�/span>---原理

基于CEAS＇�/span>腔增强吸收光谰�/span>）技术的仪器原理图，使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量，测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成，激光束经过固态校准器＇�/span>FSR=2.00GHz）时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度，忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束、�/span>

EP增强型版本集成了压力传感器和内部温度控制器，具有超稳定性测量腔室，防止温度漂移、压力变化等造成的误差、�/span>

CEAS＇�/span>腔增强吸收光谰�/span>）相比于**代的CRDS（腔衰荡光谱）技术，有许多已被证明的优势。简而言之，激光束不需要共振耦合进入测量腓�/span>室（例如光束不需要严格对准）、�/span>ETG分析仪器和系统具有天生安装简单、机械牢固、防护结实等特点、�/span>

猎户� 3100S的特�?/span>

��sub-ppb级实时测野�/span>

��CEAS＇�/span>腔增强吸收光谰�/span>）原琅�/span>

��苛刻危险环境下可连续无人值守测量

��无试剂、无放射源、无纸带消耗、无吸收管或者其他耗材

��长期稳定性和可靠�?/span>

��固态电子器件无可移动部仵�/span>

��低维护量、长免维护期

��出厂标定

��单组仼�/span>/多组份痕量级气体测量

��4~64通道多点采样

��独立可编程报警、继电器设置

��可独立编程采样点顺序和吹扫通道

��开放的通讯协议，便于二次开发与集成

��电源断电或者断闸，数据无丢夰�/span>

��触摸屏允许数据显示、表格显示、曲线显示等

��? ‛�/span>外径接口

��管线９�/span>PFA� PVDF

��距离采样�?长管线：80m

��盘装彩色液晶显示�?/span>

��可远程操作或可视化操作、�/span>

��任意的运载工其�/span>

��输出信号：标酌�/span>: RS232 �可逈�/span>: 4-20 mA� Modbus

��供电: 115-230 Vac 50/60 Hz

��校准报告

��通过采样器或者快速回路泵采样