German First-Nano System 德国韦氏纳米
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Bench-Top Plasma Tool
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AGS Plasma Systems Inc.

Now Celebrating Our25thyear!

美国AGS成立亍/span>1991年,在等离子系统领域已有25年的历程,是一家历史悠久的等离子系统供应商,提供的真空等离子系统主要应用于图案转换中薄膜沉积,刻蚀,如微电子,MEMS,光伏,光电,纳米科技等行业领域、/span>

2012平/span>Semicon West ,AGS公司推出一个新型的,桌面式 TT-150—RIE/CVD 系统,非常经济实用,对世界各地大学,研究所来说这样如此特色的RIE和CVD应用是非?*的、/span>
  • 模块化的TT-150适合半导体MEMS,TFT,PV??--6寸应用、/span>

  • AGS TT 等离子系统在一个平台上提供了所有的功能特征

  • RIE,PECVD,和等离子刻蚀PE都能在一个易操作,低维护,实用简单的平台上实现,同时可以根据您的工艺要求升级您的需汁/span>

  • 当您需要更换工艺技术是,腔体的部件,材料,进气装置提供更多的工艺扩屔/span>

  • AGS依靠公司丰富的经验为新工艺开发提供低成本的先进的技术资源便于提前研发先进的领域技?/span>

  • 桌面式,占地面积小,节省实验室空闳/span>

  • 工艺控制简单,易于使用者操佛/span>

  • 兼容等离子刻蚀PE和PECVD,成本低

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