Tergeo等离子清洗机

� �? � 模式：直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性； 远程等离子体可以轻微的清除表面污染，如SEM/TEM� 品清洖�/span> � 操作：自动配方执行；自动作业顺序执行；亦手动控制 � 等离子传感器：双等离子强度传感器�?*申请中）实时监测 等离子源和远程等离子源且等离子强度实旵�/span>显示LCD触摸屏上 � 先进工艺控制：压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹� � 腔体材料：铝法兰，石英腔佒�/span> � 石英腔体尺寸：内径：110mm；深280mm � 样品架：2mm厚高纯度石英� � 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了内部金属电� 在等离子清洗机中发现的金属溅射问� � 射频功率�?3.56mhz射频电源，自动阻抗匹酌�/span> 射频功率有两种选择�?-75watt�?-150watt � 工艺气路：高达三个MFC气路 � 用户界面�?寸电阻式触摸屎�/span> � 软件：总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骣�/span>

Direct & downstream 清洗模式

典型的应用：

• 引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解�

• 光刻胶灰化、除渣、硅片清�

• PDMS/微流�?载玻�?芯片实验

• 去除的扫描电�?电镜样品上碳氢污染物

• 改善金属与金属或复合材料的结�

• 改善塑料、聚合物和复合材料的粘接

PDMS/玻璃键合的应用笔�?/span>

Recipe ９�/span>

PDMS bonding: RF power 15Watt

RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air

Flow rate: 5sccm

Time: 30~60 seconds

Figure 1经过等离子体处理后，PDMS立即与玻璃结合，界面截留的气体被自动挤出，无需在烤箱里固化PDMS/玻璃胶几个小时、�/span>

Figure 2，粘合一分钟后，用户试图测试PDMS/玻璃粘合度，由于粘合非常牢固，即佾�span>由于强大的拉劚�/span>部分PDMS被撕掉之后，PDMS/玻璃粘合界面仍然完好无损、�/span>

我公司专业销�?strong>PIE Plasma产品，并提供PIE Plasma产品的售前售后服务，如您寸�strong>PIE Plasma产品感兴趣，欢迎前来咨询�?/p>