AS-One系统有两种型号：AS-One 100系统戕�span>AS-One 150系统

�?strong>快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的＋�span>高可靠且性价比高、�/span>

该工艺室采用贝壳式设计，可完全进入底板，方便装载和卸载基板，并允许实际清洁腔佒�/span>

快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制、�/span>

特征９�/span>
基本尺寸９�/td>	Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors
工艺腔体	运用不锈钢冷腔室壁技�?/td>
温度范围	标准配置�?*达到1250��C 高温配置�?*达到1450��C
温度控制	标准配置：热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制
真空和气佒�/td>	*多可�?路带MFC的工艺气体，一路清洁气佒�/td>
电脑控制	全PC电脑控制，每个配�?�?00步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设讠�/p>
选项９�/td>
石墨托盘/碳化硅涂层托�?粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系�?其他套件
应用９�/td>

� 快速热退�?/p>

�快速热氧化

�扩散/接触时退�?/p>

�化合物退�?/p>

�结晶或致密化

我公司专业销�?/span>Annealsys产品，并提供Annealsys产品的售前售后服务，如您寸�/span>Annealsys产品感兴趣，欢迎前来咨询�?/span>