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高效型CL光谱仪HCLUE
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仪器简介:电子束入射到样品上,即可用光学方法接收并分析阴极发光(CL),从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法,结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果,是纳米结构和体材料的独特分析工具、/p>

HCLUE是一款基于反射镜耦合优化的CL系统,结合了Jobin Yvon光谱技术制造的光谱仪模块,具有高灵敏度性能,适用于弱信号测量。可同时配备两个探测器,以获得更大光谱范围、/span>

原理国strong>主要特点9/strong>反射镜直接耦合

高灵敏度

扫描成像、线扫描、点测量

多种光栅选项

多种焦长光谱仪选项?20mm-550mm

可配双探测器以获?*光谱范围?85nm-2500nm

重点应用领域9/strong> 阴极发光光谱仪(CL)是用来表征材料中的缺陷,元素和杂质追踪的强大分析工具,广泛适用于各个应用领域、/span>

1、材料科?/strong>

半导体和光电材料

介电/陶瓷

氧化物膜

玻璃

2、矿物、地?/strong>

碳酸

晶体

金刚

锆石、方解石、白云石

3?span>生命科学

4?/span>公安

CL光谱及成像:

■CL光谱9/strong>使用CL测量光谱时,可在电镜下观察并选择待测样品区域、/span> ■快速CL成像9/strong>将扫描电子束与您的光谱仪同步,提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品,测量中使用了超快SWIFTTM成像模式、/span>

矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统,配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon UPMC France提供数据

左图:使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1 Hyperspectral CL mapping

中图:电镜下的样品图像。figure 2 SE image

右图:对应的光谱,其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3 CL spectral (RGB)

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