主要技术指栆�/span>

◅�/span>X射线管：铜靶，阳极接地，强制风冷

◅�/span>管电流：0｝�/span>4mA，连续可谂�/span>

◅�/span>管电压：30KVP

◅�/span>整机功率：不大于2KW

◅�/span>控制方式：计算机

◅�/span>射线窗口控制：电动光闷�/span>

◅�/span>测量精度：°�/span>15′�/span>

◅�/span>射线管和探测器运动方式：计算机控制联动或单动

◅�/span>探测器电压：闪烁探测�?/span>500V｝�/span>1100V

◅�/span>可测晶棒重量９�/span>20Kg

◅�/span>可测晶棒、晶片直径：2｝�/span>8英寸

◅�/span>可测**长度９�/span>400mm

◅�/span>整机外形尺寸９�/span>1020×950×1900(mm)

◅�/span>重量９�/span>350Kg