岛津场发射电子探针EPMA-8050G开创新纪元

—–�/strong>**的空间分辨率与超高灵敏度�?*结合

“The Grand EPMA�诞生

搭载*尖端场发射电子光学系统将岛津EPMA分析性能发挥�?*、�/span>

从SEM观察条件�?��A量级，在各种束流条件下都拥有******空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥�?*、�/span>

当之无愧� “The Grand EPMA� �?*水准的EPMA诞生�?/span>

[性能特点]

� **的空间分辨率

电子探针可达到的**级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电厊�/span>30kV），分析条件上�/span>No.1的二次电子分辨率、�/span>

（加速电厊�/span>10kV旵�/span>20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1��A（�/span>

� 大束流超高灵敏度分析

实现3.0��A（加速电�?0kV）的**束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑、�/span>

� 高性能X射线谱仪

秉承岛津电子探针颇具优势�?2.5��X射线取出角。采�?英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪、�/span>分析性能更胜一筹、�/span>

� 全部分析操作简单易懁�/span>

全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告、�/span>

◎实现微区超高灵敏度分析的先进技�?/span>

1　高亮度肖特基发射佒�/span>

岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传绞�/span>SEM使用的发射体针尖直径曳�/span>

大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稲�/span>

定大电流、�/span>

2　EPMA专用电子光学系统

电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜

形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可

变光阑透镜来形成交叉点的（日本**：第4595778号）。简单的透镜绒�/span>

构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设�?合适的打开角度，将电子

束压缩到*细。当然是不需要更换物镜光阑的、�/span>

3　超高真空排气系统

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔＇�/span>orifice）间隔方式的2

级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到*小，以控制流入中

间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作、�/span>

4　高灵敏度X射线谱仪

岛津场发射电子探�?多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪、�/span>

52.5��皃�/span>X射线取出角在提高亅�/span>X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品寸�/span>X射线

的吸收，实现高灵敏度的分析、�/span>

[应用举例]

1.岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测：无铅焊锡焊料中Ag与Cu的分市�/span>

对无铅焊锡焊料中大量含有Ag的区域进行面分析的数据。（加速电压：10kV；照射电流：20nA（�/p>

Ag的X射线像中颗粒形状与BSE像（COMPO）的颗粒形状一致。直径约0.1��m的Ag颗粒也清晰可辨（红色虚线圈出）。同时可确认Cu颗粒的存在（黄色虚线圈出）、�/span>

岛津场发射电子探针EPMA-8050G应用数据

2.岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测：生物体组织中的金属元紟�/span>

以下数据为EPMA捕捉到的肿瘤细胞中铂（Pt）元素图像，通过靶向给药将抗肿瘤药物卡铂（铂络合物）导入小鼠头颈部肿瘤组织中后进行分析检测、�/p>

卡铂通过与癌细胞内的遗传因子DNA链结合，阻碍DNA的分裂（复制）以杀灭癌细胞，我们可以通过元素图像了解抗癌药物以何种形态进入癌细胞内、�/span>

岛津场发射电子探针EPMA-8050G应用数据