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1平/div> 称:
安徽纯源镀膜科技有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:7372
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产品简今/div>
主要特点
1、具备加热、离子束溅射清洗和磁控溅射沉积金属层的能力;
2、腔室圆周壁安装磁控溅射源、离子束清洗源和加热器,底部布置高真空抽气系统。顶部有旋转基片架驱动系统和真空度测量系 :/p>
3、设备采用全自动控制系统,能控制工艺温度、膜层厚度,能对微孔内壁镀膜;
4、腔室内设置多路偏压板,每路偏压能够独立调节,自由控制通断以及接地设计。偏压由基片架转轴引入腔室;
5、行星转架底座为公转+自转结构,而偏压板底座和基片(电路板)底座为公转结构;
6、突出安全性设计:设备中外露部分,包括真空腔室、抽气系统、离子源背部等能触摸到的表面,全部接地保护;内部带电部分也有明显警示标志。设备控制软件设有自动保护功能、/p>
技术优劾/span>
1?nbsp;离子束清洗源产生的高能Ar离子,清洗轰击基底表面,可以提高膜层的粘附性;
2 布气系统,气体流量均利用质量流量计分别进行定量控制;
3?nbsp;温度监控采用热偶丝方式,腔室壁设置加热器,通过温度传感器进行加热控制。真空室外壁设置水冷,能确保**加热温度条件下控制外壁温度不高于40摄氏度;
4?nbsp;设备镀膜源的安装法兰采用合页铰链设计,换靶方便,离子源和加热器维护操作简单。所有的磁控溅射离子源、离子束清洗源的安装法兰采用相同尺寸,互换性强,工艺灵活性高:/p>
5?nbsp;设备采用工控?PLC控制方式,完全自动化界面控制,具备工艺配方自动运行能力、/p>
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