合金薄膜敏感芯片通过离子束溅射镀膜技术，

在被测介质直接作用的17-4PH、Inconel718�?/span>

钛合金等材质弹性膜片上依次制备“微米级”的多层薄膜，刻蚀形成惠斯通电桥，

基于应变效应，用于压力、温度的可靠测量、�/span>

测量范围� 0�?MPa�?20MPa

　　过载压力� 200%FS

　　准确度： 0.2%FS

　　激励： 3VDC�?2VDC

　　灵敏度： �?.5mV/V

　　桥阻范围� 1.5kΩ�?kΩ

　　工作温度� -55℃～85�?125�?150ℂ�/span>

　　*�?196℃，**250� 耐瞬�?000ℂ�/span>

　　绝缘电阻� �?000MΩ/100VDC