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半导体行业专用仪?/a>
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仪器专用配件
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占地面积小, 多种配置选择 为研发用户提供深度定制化方案。生长室
·极限真空5E-11Torr
·**3英寸衬底
·8个源炉口
·可选E-gun系统
·衬底**加热?200°c
·高度客户定制匕/p>
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