1

晶圆尺寸

8英寸

2

**温度

1100℃（石英（�/span>

1250℃（碳化硅）

3

控温精度

≤°�/span>0.5ℂ�/span>

4

温度均匀�?/span>

≤°�/span>1ℂ�/span>

5

升温速率

0-10ℂ�/span>/min

6

**装载野�/span>

170牆�/span>

7

有效工作区域

Φ230mm×780mm

8

温区数量

5

9

气路数量

4

10

片内均匀性（WIW（�/span>

≣�/span>2%

11

片间均匀性（WTW（�/span>

≣�/span>2%

12

批间均匀性（RTR（�/span>

≣�/span>2%

13

新增颗粒

≣�/span>50（≥0.16μm（�/span>

≣�/span>30（≥0.2μm（�/span>

14

金属污染

<5E10 atms/cm²