应用于集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金和烧结等；适用工艺有扩散、氧化、退火、合金、�/span>

• 设备成熟稳定，可靠性高：�/p>

  恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度、�/p>

• 晶片尺寸�?*�?*：�/p>

  工艺温度�?00℃�?300℃；

  恒温区长度：800mm � 1000mm、�/p>

•