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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
粉体焙烧炈/a>
仪器专用配件
其它辅助设备
产品简今/div>
应用于宽禁带半导体器件、电力电子器件、光电子等行业氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制备;适用工艺有LPCVD、/span>
温度控制采用串级控制方式,对基片实际温度进行实时智能控制:/p>
装载采用SiC悬臂桨,避免了与工艺管摩擦产生粉尘、/p>
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