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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
粉体焙烧炈/a>
仪器专用配件
其它辅助设备
产品简今/div>
该设备由全密封炉体、过渡舱、管道、液压系统、送料控制系统、温度控制系统等组成、/span>
1、气氛调节采用多点流量计快速调节;
2、集中式工控操作系统实现设备快速、准确控制;
3、炉顶根据工艺特点采用多节拱顶或一体式顶结构,达到排焦、节能、温场均匀的目的;
4、加热盒采用一体式全封闭制作方式,保证设备的气密性;
5、电路温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、并编制各种升降温程序;
6、自动送料控制系统实现物料的自动输送、送料计数、清洗等功能、/span>
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