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中国电子科技集团公司第四十八研究所
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产品简今/div>
设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积、/span>
膜块化设计，便于安装以及产能升级;
满足不同温度沉积ITO薄膜，工艺扩展性强;强控旋转阴极靶快速镀膜技术，靶材利用率高;
分区加热和控温，具有出色的控温系统和控温性能、/span>
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