单台?管）产能?600?小时（单管装?16?批）：br/>
沉膜均匀性好，膜厚均匀性指标可达：片内?％、片间≤3％、批间≤3％；
350?80℃控温范围，同时满足沉积氮化硅膜和退火工艺要求；
采用全套倍福控制系统，自动化程度高（ 提供MES接口、远程监控等功能）；
全自动上下舟系统，一键全自动工艺和完善的保护报警功能：/p>
送料机构强度、精度、速度、稳定性大幅优于同类产品、/p>
基本参数 |
成膜种类 |
氮化硄/span> |
装片量与产能 |
416 牆/span>/批（156x156mm方片），单台5管产能≥3600牆span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">/小时：/p> |
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在线时间 |
?span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">98%：/p> |
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设备功率 |
峰值功玆/span>≣span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">280KW，平均功率≤70KW：/p> |
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设备尺寸 |
7400mm（不含真空泵）Ö/span>2110mm×3530mm＇span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">L×W×H）； |
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成膜质量参数 |
成膜均匀?/span> |
片内≣span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">4％、片间≤3％、批间≤3％（膜厚80｝span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">120nm）； |
折射率均匀?/span> |
片内≣span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">1.5％、片间≤1.5％、批间≤1.5％（折射玆span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">2｝span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">2.2）； |
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温控系统参数 |
恒温区长度及精度 |
≤°span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">1ℂspan style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">/1600mm＇span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">450℃时）； |
温度控制范围 |
200｝/span>580℃； |
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温度控制方式 |
五段双回路温度控制； |
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真空系统参数 |
压力控制 |
高精?span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">VAT阀控制，控压范図span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">220±40Pa：/span> |
石墨舟传输系统参?/span> |
石墨舟上料方弎/span> |
全自动机械手上下舟，在线弎span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">/离线式对接插片机可选； |
控制系统参数 |
推舟机构 |
水平速度1~12000mm/min可调，垂直速度1~150mm/min可调，承重≥40KG：/p> |
控制方式 |
高性能工控计算机全自动控制工艺过程，并对工艺参数和工艺流程实时监控：/span> |
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基本参数 |
在线时间 |
?span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">98%：/p> |
设备功率 |
峰值功玆/span>≣span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">280KW，平均功率≤70KW：/p> |
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设备尺寸 |
7400mm（不含真空泵）Ö/span>2110mm×3530mm＇span style="padding: 0px; margin: 0px; line-height: 1.5em; font-family: calibri;">L×W×H）； |