单管装片野�/span>

1600�?批（槽间�?.38mm（�/span>

工艺类型

高温氧化、退火工艹�/span>

温度控制系统

控温方式

5段双回路串级控制

控温范围

600℃～1100ℂ�/span>

恒温区长度及精度

≤�?.5�?1600mm�?01℃～1100℃）

≤�?�?1600mm�?00℃～800℃）

单点稳定�?/span>

±0.5�?24h(静态，900�?

炉体升降温速率

**升温20˚C/min�?*降温5˚C/min

气路系统

流量控制方式

氮气、氧气流量由MFC控制；保护氮气由浮子流量计控刵�/span>

气体控制精度

±0.5%FS

送舟机构

水平推舟速率

1�?00mm/min连续可调，定位精度≤±1mm

垂直升降速率

8�?2mm/min

石英舟进出方弎�/span>

软着陆、在线式（净化台侧出舟）

SiC�?*承载

25Kg

控制系统

工艺监控方式

工业平板电脑全自动控制（触摸屏操作）

自动控温功能

具有自动斜率升降温及恒温功能

工艺历史记录功能

核心工艺参数（温度、压力、流量、功率、电流、淀积时间）�?秒记录一次，其他过程�?0秒记录一次、�/span>

报警保护功能

设备具有工艺状态声光提醒，以及计算机异常、超温报警与欠温、MFC偏差、反应室压力偏差、极限超温报警和保护功能：�/span>

其他参数

设备峰值功玆�/span>

280 KVA�?管）

保温功率

75 KVA�?管）

设备柜体尺寸

7440mm(长）×2020mm（宽）�?530（高（�/span>

设备利用玆�/span>

�?8%