FIG-5离子�?/strong>

简今�/strong>

ULVAC-PHI Model FIG-5型离子枪是一种高效能的溅射离子枪，它可以在高真空的条件下，有效地使用5kV加速电压�?小的离子束斑大小约为150um。此外，FIG-5型离子枪也可以工作在极低的能量范围如10eV用作中和目的，也可在200eV低能量范围用作溅射超薄薄膜。它可采�?-10V外置电源控制离子束的扫描。FIG-5型离子枪标准配置还包括差分抽气口。该离子枪的全部操作采用RS-232 接口由计算机控制�

�? - ULVAC-PHI FIG-5型离子枪

性能规格

工作电压	�?nbsp;	0-5kV
**束流	９�/span>	�?0uA @ 5kV Beam Voltage
低压性能	９�/span>	�?2nA @ 10eV Beam Voltage
*小束斐�/span>	９�/span>	�?00um
离子源类垊�/span>	９�/span>	电子轰击
发兰接口	９�/span>	ICF70
工作距离	９�/span>	30-70mm