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产品简今/div>
PHIQuantes双扫揎/strong>XPS探针
简今/span>
PHI Quantes双扫描XPS探针是以Quantera II系统为基础,进行技术升级后得到的全新版本。PHI Quantes的主要突出特点,是拥有世?*的同焦Al Ka和Cr Ka的双扫描X射线源;相比常规的Al Ka X射线源,能量高达5.4 KeV的Cr Ka作为硬X射线源,一方面可以探测到表面更深度的信息,另一方面还可得到更宽能量范围的能谱信息,使光电子能谱数据资讯达到更内部、更深层和更寛能量的结果。Quantes是一套技术成熟的高性能XPS系统,在未来表面科学研究中将发挥至关重要的作用、/span>
优势
样品表面更深的深度信?/span>
Cr Ka和Al Ka激发的光电子具有不同的非弹性平均自由程,因此可以探测到不同的深度信息,一般的预期是Cr Ka数据中深度讯息会比Al Ka深三倍,使Quantes的分析能力得到重大的提升、/span>
如上图可见Cr Ka的非弹性自由层的深度是Al Ka的三倍、/span>
如上图左,使用Al Ka测试一SiO210nm厚样式基本只看到表面的氧化硅;而在右图所示在使用Cr Ka分析同一样品可同时侦测出表面氧化硅和深度10nm后更深金属硅的讯号、/span>
探测高结合能的内层电子和更寛皃/strong>XPS能谱
当内层电子的结合能高?.5 KeV而小?.4 KeV时,该层电子无法被Al Ka X射线激发产生光电子,但是却能被Cr Ka X射线激发产生光电子。因此,使用Cr Ka能够在激发更内层光电子的同时得到能量范围更宽的光电子能谱(如下图)、/span>
特点
PHI Quantes设备双单色光源的示意国/span>
双单色化的X射线源,Cr Ka? KeV)和Al Ka?.5 KeV(/span>
Cr Ka分析深度是Al Ka的三倌/span>
如上图,PHI Quantes双光源都可扫描聚焦的同时定位可保证为完全一至/span>
Cr Ka与Al Ka双X射线源能够实现同点分枏/span>
技术成熟的双束电荷中和技?/span>
Cr Ka 定量灵敏因子
可选配仵/strong>
样品定位系统(SPS(/span>
樣品處理室(Preparation chamber(/span>
冷/热變溫样品台
团簇离子 GCIB
应用实例分析
例一:金属氧化物Fe-Cr合金分析
光电子能谱图中,有时会出现X光激发产生的光电子与某些俄歇电子能量范围重合的情况。例如在探测Fe-Cr合金全谱时,PHI Quantes可以一鍵切换Cr Ka与Al Ka X射线源,那么光电子与俄歇电子就能够在全谱中很好的区分开(如下圖)、/span>
如下圖,尽管在Fe2p和Cr2p的精细谱中,Al Ka得到的Fe2p与俄歇电子谱峰稍有重叠,但是根据不同的深度信息,我们依然可以发现Fe和Cr的氧化物只存在于样品的表面。详细研究Fe和Cr之间的氧化物含量可能导致氧化物厚度或深度的差异、/span>
例二: 褪色的铜电极分析
如下图中光学显微镜下,可以观察到铜电极產品上颜色发生了变化,以此定位分析点A/B和a/b。再使用 PHI Quantes 对样品这买个区域做分析、/span>
使用PHI Quantes分析此样品得到上图的结果,当 Cr Ka在(A,B)两个分析区域结果Cu2+和Cu+组成比例有明显的不同。但是在使用Al Ka分析(a,b)两区域时,Cu2+和Cu+化学态和组成比基本没有明显的差别、/span>
这个结果表明:在亮暗区域,Cu主要以Cu2O形式存在。但是,用Cr Ka探测到暗处有更多的CuO,说明CuO更多的存在于Cu2O的下面、/span>
例三: 多层薄膜分析
如下图,对一多层薄膜使用PHI Quantes分析,留意图中所标示在不同X射线?Al Ka & Cr Ka)和不同样品测试倾角时,使用了蓝/?红示意出XPS分析深度的不同、/span>
如以左上图蓝/?红图谱结果中可见,只有通过PHI Quantes Cr Ka分析才可以直接透过XPS探测?4nm的Y2O3层下面的Cr层Cr2p信息。而右上图曲线拟合结果也可以用来研究Cr的化学状态。通过研究Cr Ka ?0°?0°入射得到的谱图可知,Cr氧化物是存在在Y2O3和Cr之间的界面、/span>
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