�?0(25℃～1700�?

�?0(25℃～1800�?

1×10^-4

1×10^-4

1×10^-4

1×10^-4

2×10^-3

2×10^-3

2×10^-3

2×10^-3

�?5

�?5

�?5

�?5

0.5

0.3

0.3

0.3

1

3

5

5×6（六工位（�/span>

自然冷却

自然冷却

外循环强制冷即�/span>

外循环强制冷即�/span>

-

-

1.2

1.2

-

-

-0.02

-0.02

PLC/智能控温仪，热电�?红外测温�?/span>

高纯干燥Ar，供气压�?.2�?.3MPa

进水温度�?2℃，供水压力0.2�?.3MPa，可选择开启式回水方式

无油干燥，供气压�?.5�?.6MPa

25

80

100

120