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1200-PE60 PECVD系统
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1200-PE60 PECVD系统

PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)?nbsp; 该型号PECVD综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点,在PECVD前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂、br/>

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