▟�strong>技术参�?/strong>

分辨率：20nm(30kv，BSE Image)

- 放大倍率:30x ~ 30�?00x

- 加速电厊�5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)

▟�strong>图像

背散射电子图像（BSEI），适用于非导体样品

▟�strong>规格

- 样品移动距离

: X: 20mm� Y: 20mm＋�/p>

Rotation : 360��

- **样品尺寸: 直径50mm

-**样品厚度: 20mm

▟�strong>系统结构

- 电子�? 预对准钨灯丝

背散射电子图僎�/p>

- 真空泵：

旋转式真空泵100L/min

涡轮分子�?0L/S

抽真空时�?分钟冄�/p>

▟�strong>设备主要构成

- 笔记本电�?�?/p>

- 电子扫描显微镜主体一�?/p>

- 灯丝5�?/p>

- 载物�?5mmdia (10pcs/set)

25mmdia (5pcs/set)

15mm45��tilt(5pcs/set)

15mm90��tilt(5pcs/set)