温度控制系统设备用于配合电镜附件使用环境中，可根据工作环境的温度变化，在开关内部发生物理形变，从而产生某些特殊效应，产生导通或者断开动作的一系列自动控制元件，或者电子原件在不同温度下，工作状态的不同原理来给电路提供温度数据，以供电路采集温度数据。传统控温系统都是针对大型生产设备、节能环保等使用、�/span>

针对电镜客户定制研发的控温系统设备专门用于配合电镜使用，设计保障了反应微区系统加热均匀性和温度稳定性，控温精度辽�/span>0.1K以上，加热均匀度达99.5%以上，可以有效保证研发需求、�/span>

1)尺寸９�/span>L*W*H=425*255*106（单位：mm），以实物为准、�/span>

2)适用亍�/span>0-1000℃温度微区控制芯片，适用压力范围９�/span>0-1000mbar原位反应系统、�/span>

3)适用样品台：FEI�?/span>JEOL�?/span>Hitachi

4)适配自组装键合一体式芯片反应�?/span>

5)适配纳流体引入样品台、�/span>

6)适配原位台内置芯片实时温度控制、�/span>

7)微电路电压电流高精度测量，电压范図�/span>0-40v，电�?/span>0-0.2A、�/span>