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苏州辰轩光电科技有限公司
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产品简今/div>
|应用领域
应用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化镓（GaN）等半导体材料的刷洗，同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料、/span>
|设备特点
?nbsp;陶瓷盘竖直清洗，可减少设备的占地面积、/span>
?nbsp;采用超声波清洗，可较大限度避免损伤陶瓷盘面、/span>
?nbsp;自动?下料系统?2片容量的陶瓷盘推车，可提高效率减少人工、/span>
?nbsp;搬移机械手单独上下移动，可增强陶瓷盘清洗效果、/span>
|设备参数
设备型号 |
CX-BE05 |
|
适应产品 |
陶瓷 Φ360mm |
|
陶瓷 Φ485mm |
||
洗槽数量 |
3槼/span> |
|
超声波洗槽数野/span> |
2槼/span> |
|
药液洗槽数量 |
1槼/span> |
|
洗槽循环流量 |
20L/min |
|
洗槽材质 |
SUS316 |
|
连续作业时间 |
??分钟/盘（具体视工艺而定（/span> |
|
设备尺寸 |
W4965mm * L2100mm * H2605mm |
|
设备重量 |
?000kg |
|
瓷盘车容野/span> |
12牆/span> |
|
自动上下瓷盘 |
?/span> |
|
水枪 |
1?/span> |
|
搬移机械手上上/span> |
伺服电机+滚珠丝杠+滚动导轨 |
|
搬移机械手左史/span> |
伺服电机+齿轮齿条+滚动导轨 |
|
进盘翻转机构 |
气缸 |
|
出盘翻转机构 |
减速电朹/span> |
|
设备使用条件 |
电源 |
AC380, 50Hz,三相四线刵/span> |
总容野/span> |
70kw |
|
气源接口 |
3/4 |
|
进水接口 |
3/4 |
|
排水接口 |
1 +1/2 |
|
排气 |
正压排气5′/span> |
|
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