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苏州辰轩光电科技有限公司
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产品简今/div>
|设备参数
适用陶瓷盗/span> |
Φ360mm * 15mm?/span>Φ305mm * 15mm |
|
适用晶片 |
4 inch? inch |
|
抛光机下盗/span> |
尺寸 |
Φ872mm |
材质 |
不锈钢盘&抛光?/span> |
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电机功率 |
7kw |
|
转速范図/span> |
5?00rpm |
|
*小转速控制量 |
1rpm（触摸屏中设定） |
|
冷却 |
水冷式冰水机?P（/span> |
|
盘温控制 |
0℃～50ℂ/span> |
|
修盘方式 |
人工调节，伺服自动修盗/span> |
|
抛光机上盗/span> |
控制方式 |
2轴独立控制，自动停止加工 |
抛头材质 |
SUS410（可按客户要求定做） |
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加压气缸 |
Φ100mm |
|
压力范围 |
0?00kg |
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控制精度 |
±1kgf（触摸屏中设定） |
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电机功率 |
0.75kw |
|
转速范図/span> |
5?00rpm |
|
*小转速控制量 |
1rpm（触摸屏中设定） |
|
抛光液供应系绞/span> |
供给方法 |
循环泵（流量可以调节并实时监控） |
抛光液灌容量 |
20L（冷却、搅拌） |
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供液位置 |
中心供液 |
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补液方式 |
人工补液 |
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陶瓷盘固宙/span> |
半自动上料装置，陶瓷盘定位载其/span> |
|
去除玆/span> |
具体视工艺及材料而定 |
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设备尺寸 |
W2200mm * L2250mm * H2100mm |
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设备重量 |
?000Kg |
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