|设备特点
�?/span>整体铸造式铸铁机身，高刚性，高稳定性、�/span>
�?/span>采用高刚性、低振动的主轴，防止加工过程中产生抖动、�/span>
�?/span>采用独特的上压头、大盘冷却结构，有效控制盘面平整度、�/span>
�?/span>大盘、上压头采用软启动，防止碎片、崩边和破损、�/span>
�?/span>实时可视化的加工过程监控、�/span>
�?/span>在线车刀对研磨盘进行修盘和开槽、�/span>
�?/span>加工过程中，上压头左右摆动增加研磨轨迹，得到更好的产品平面度、�/span>
�?/span>分段式压力控制系统、�/span>
�?/span>SECM/GEM、MES系统、�/span>