GaN 6�?8寸外延炉

EPIREVO G8是日本株式会社东芝的子公司纽富莱（NuFlare）的主要产品之一、�/span>

EPIREVO G8通过在在200㎜Si衬底上高质量的高速成膜，

从而降低功率器件和RF器件成本的MOCVD装置，为实现低碳社会做出贡献、�/span>

高生产�?/span>

GaN膜能够达�?µm/hour以上的高速生镾�/span>

能够达到200�?minute以上的高速升�?/span>

高品�?/span>

200mm晶片面内2度以内的**温度分布

低成�?/span>

TMG可以达到20%以上的高利用玆�/span>

In-Situ清洁功能带来的高生产效率