产品型号选型指南

型号

工作温度(�?

炉管外径(mm)

加热区数野�/span>

加热区长�?mm)

TFH：卧式型

1200�?200ℂ�/span>

25：�?5mm

Ⅰ：单温匹�/span>

150�?50mm

TFV：立式型

1500�?500ℂ�/span>

30：�?0mm

Ⅱ：双温匹�/span>

220�?20mm

TFR：回转型

1700�?700ℂ�/span>

50：�?0mm

Ⅲ：三温匹�/span>

290�?90mm

TFM：多工位垊�/span>

60：�?0mm

440�?40mm

TFP：高压型

80：�?0mm

TFC：CVD

100：�?00mm

TFE：PECVD

TFG：气氛焙烧型

TFD：定制型