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布鲁克衍射荧光事业部(Bruker AXS(/b>
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D8 DISCOVER with Davanci Design
布鲁克公司全新的D8 DISCOVER X射线衍射?/strong>,材料研究领域的先进X射线衍射系统。采用创造性的达芬奇设计,配备了集成化的DIFFRAC.SUITETM软件,附件自动识别、即插即用以及完全集成化的二维XRD2功能。这些特征使得用户可以非常方便的在材料研究领域的不同应用之间切换,包括:反射率测?XRR)、高分辨测量(HRXRD)、掠入射(GID)、面内掠入射(IP-GID)、小角散?SAXS)以及残余应力和织构分析、/p>
主要应用
高分辨XRD(HRXRD)
外延多层膜厚?/p>
晶胞参数
晶格错配
组份
应变及弛豫过稊/p>
横向结构
镶嵌?/p>
X射线反射?XRR)
薄膜厚度
组份
粗造度
密度
孔隙?/p>
倒易空间图谱(RSM)
晶胞参数
晶格错配
组份
取向
弛豫
横向结构
面内掠入射衍 (in-plane GID)
掠入射小角X射线散射(GISAXS)
晶胞参数
晶格错配
横向关联?/p>
取向
物相组成
孔隙?/p>
应力和织构分枏/span>
取向分布
取向定量
应变
外延关联
硬度
物相鉴定(Phase ID)
物相组成
d值确宙/p>
择优取向
晶格对称?/p>
晶粒大小
应用实例9/strong>
HRXRD 硬件设置 LEPTOS(布鲁克公司高分辨数据分析软件)分析多层膜数?/p>
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