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铂悦仪器(上海)有限公司
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产品概述
MProbe UVVisSR薄膜测厚仪大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶?,半导体化合?AlGaAs InGaAs,CdTe CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石?,聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
该机大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶?,半导体化合?AlGaAs InGaAs,CdTe CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石?,聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
测量范围: 1 nm -50um
波长范围: 200 nm -1000 nm
MProbe UVVisSR薄膜测厚仪适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层 软件包含大量材料?超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy Tauc-Lorentz Cody-Lorentz EMA等、/p>
测量指标:薄膜厚度,光学常数
界面友好强大: 一键式测量和分析、/p>
实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理、/p>
(MProble NIR薄膜测厚仪系统示 (/span>
案例1?3nm SiN氮化硅薄膜的测量
硅晶圆反射率,测量时?0ms
使用Tauc-Lorentz模型,测量SiN薄膜的n和k倻/p>
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