设备特点与技术指栆�/span>

　　真空获得为复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400HZ后优�?*10-3pa;30分钟

　　以内优于5*10-4pa;极限真空3*10-5pa、�/span>

　　机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要、�/span>

　　机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了 排气时间，有效提高了工作效率、�/span>

机组配置９�/span>

　　600�?300�?水冷(风冷)复合分子�?台、�/span>

　　北仪优成TRP-12机械�?台、�/span>

　　40角阀一套、�/span>

　　高真空复合真空计1套�?包括CF35电离规、KF16热偶�?

　　直径150mm*�?00mm真空�?套、�/span>

　　带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套、�/span>