EM3是一个专用全自动化的电镜样品减薄系统，它制备� TEM/SEM 样品可以用来观测横截面和平面。由于具备低温冷却干法切割加工等特点，EM3 系统可以用来制备晶体和非晶体材料样品。制备的样品可以在一个可兼容的或者标 准的TEM样品台上，以便再次改进、�/span>

特点９�/span>

�灵活的低温冷却干法切割加�?/span>

� TEM侧面观察、TEM平面观察以及TEM样品制备

�目标距离样品边缘0.25mm以内

�不需要载物台，可以处理多个目标的侧面观察

� 300mm的平台，可以实现全晶片的观察和标�?/span>

�全晶片定位能劚�/span>

� 7500倍的高放大倍数

�用图像识别软件进行快速处琅�/span>

�多功能的封装能力

※Xact专用样品制备

�倾斜光刻样品制备

规格描述９�/span>

�样品输入 **�?8��18��1 mm *小：1.5��1.5��0.05 mm

�薄片宽度

FIB� 15��m�?#177; 5��m

Xact�?0��m�?#177; 5��m

�控制：可进行多轴运动控制的工业电�

�软件：基于WINDOWS * 的专用软�

�视觉系统:

2.5倍�?0倍�?0倍物镜光学显微镜，白光，明场� 明自动调焦，视频相机� 图像采集器，边缘检测算泔�/span>

�界面: 数字键盘，鼠标（追踪球）�?5寸TFT显示�?/span>

�外形尺寸�?20（长�?#215;130（宽�?#215;170（高）cm

�重量�?00Kg

优点９�/span>

�应用于特定点和普通区埞�/span>

�能够多次改进TEM样品

�包含漫射和聚焦离子束加工界面

�提高整体质量

�提高产量分析

�提高性能分析

�低成�?/span>