美国Filmetrics 光学膜厚测量�?/strong> F60-C膜厚测量�?/p>

自动化薄膜厚度分布图案系绞�/p>

F60-c 光学膜厚测量仪先进的薄膜光谱反射系统，可以很简单快速地获得薄膜的厚度及 n&k� 采用 r-��极坐标移动平台，可以在几秒钟的时间内快逞�span>的定位所需测试的点并测试厚度， 可随意选择一种或极坐标形� 戕�span>方形、或线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点� 针对丌�span>同的晶圆尺寸，盒对盒系统可以很容易的自动转换，匹配当前盒孏�span>的尺寸� 49点的分布图测量只需耗时� 45秒、�/span>

可测样品膜层

基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。例妁�/span>

氧化� 氮化� 类金刚石 DLC

光刻� 聚合� 聚亚酰胺

多晶�非晶�硄�/span>

免费现场演示/支持

点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示！我们，我们的应用工程师伙�span>在电脑上为您演示薄膜测量是多么容昒�/span>

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