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产品分类
测厚?/a>
测量/计量仪器
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪
F80-C膜厚测量仪使生产晶片的测量变得简单实惟/p>
工艺工程师希望薄膜厚度测量是快速容易的,现在高精度的厚度成像技?span> Filmetrics 可以快速建立配方,并且拥有行业**的测试速度,而且价格仅仅是同行业测量设备的小部分 F80 可以应用在化学机械抛光、化学气相沉积、蚀刻等工艺中,这是晶片追索工艺工程师所期待的、/p>
新技?span>=低成?/p>
与传统的测量工具不同 F80 不需要高精度的移动硬件去找寻微小的测 pads,相反的,它可以快速的测量每个 pad 附近数以千计点的厚度,然后处理“厚度成像”结果,进而找到正确的厚度。可以有效的替换昂贵皃span>移动硬件,进而节约很高的成本、/p>
使用****的方侾/p>
因为使用厚度成像技术, F80 不依赖过时的基于视频的图像识别技术,这意味着 CMP 应用中通常会遇到的前后表面光对照比不同的问题, F80 系统中是不存在的 也意味着配方的建立更自动化和直观,数?span>可以及时存,从而节省了时间,训练及减少误操作引发的错误、/p>
快逞/p>
因为厚度成像技术, 300 毫米晶片 F80 上扫 21 点仅仅只需 29 秒的时间,非常快速、/span>
Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪
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