F40薄膜厚度测量�?/span>

结合显微镜的薄膜测量系统

Filmetrics F40-EXR搭配SS-Microscope-EXR-1系统

Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行，或者其他应用要求光斑小臲�span>1微米时，F40是zui好的选择。使用先前足部校正显微镜的物镜，再进行测量，即可获得精zhun的厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics皃�span>C-mount连接附件＋�span>F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用、�span>C-mount上装备有CCD摄像头，可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置、�/p>

*取决于材斘�/span>

1.使用5X物镜参耂�/span>

2.是基于连�?span>20天，每天�?span>Si基底上对厚度丹�span>500纳米皃�span>SiO2薄膜样品连续浊�/span>

野�span>100次所得厚度值的标准偏差的平均倻�/span>

3.是基于连�?span>20天，每天�?span>Si基底上对厚度丹�span>500纳米皃�span>SiO2薄膜样品连续浊�/span>

野�span>100次所得厚度值的2倍标准偏差的平均倻�/span>

选择Filmetrics的优劾�/span>

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