探针式表面轮廓仪 P-7＇�strong>台阶�?/span>（�/span>

KLA是全球半导体在线检测设备市场的供应商，在半导体、数据存储� MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有着极高的市占率。P-7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-7建立在市场P-17台式探针轮廓分析系统 的成功基础之上� 它保持了P-17技术的**测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比� P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘� 度和应力进行2D�?D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接、�/span>

从可靠性表现来看，P-7具有业界先进的测量重复性。UltraLite?传感器具有动态力控制，良好的线性，和精确的垂直分辨率等特性。友好的用户界面和自动化测量可以适配大学、研发、生产等不同应用场景、�/span>

主要功能

� 台阶高度：几纳米�?000��m

�微力恒力控制�?.03�?0mg

�样品全直径扫描，无需图像拼接 ? 视频�?00万像素高分辨率彩色摄像机

�圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误�?/span>

�生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用

�薄膜/厚膜台阶

�蚀刻深度量浊�/span>

�光阻/光刻胶台阵�/span>

�柔性薄膛�/span>

�表面粗糙�?平整度表� ? 表面曲率和轮廓分枏�/span>

�薄膜�?D stress量测

�表面结构分析

�表面�?D轮廓成像

�缺陷表征和缺陷分枏�/span>

�其他多种表面分析功能

产品特性及扩展选项

P-7探针式台阶仪凝聚了KLA在量测领域的大量经验和技术优势，并具有丰富的扩展选项、�/span>

探针扫描

扫描载台具有150 mm的精确扫描范围以及精度可�? mm的扫描高度范围，从而保证高质量�?D�?D扫描数据、�/span>

台阶重复�?/strong>

�?微米阶高的重复性为0.4纳米。这归因于极低噪音电子元件，亚埃分辨率的电容式传感器，以及超高平整度的平晶基座、�/span>

Apex软件

Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了P-7的标准数据分析能力� Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本**准� Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和�?否合格的准则� Apex提供八种语言的版本、�/span>

自动化测�

自动化测量包括图案识别�?000个量测序列点和序列队列功能，可以极大提高产量� 图案识别与高级校准相结合，可减少平台定位误差，并实现系统间配方的无缝传输。自动化测量与特征检测、特征发现、Apex软件充分集成后可以实现自动化收集和报告数据的功能、�/span>

3D 成像

通过3D扫描可以得到表面的三维成像，呈现出彩色三维图像或自上而下 的等高线图像。可以从中提取截�?线中的三维或二维数据、�/span>

应力分析

能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力� 使用 应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲� 然后通过应用 Stoney方程来计算应力�?D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接�?D应力的测量采用多�?D扫描，并结合��平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量、�/span>

离线分析软件

离线软件可以创建扫描和序列配方，以及分析Profiler或Apex数据