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日立科学仪器(北京)有限公司
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产品分类
产品简今/div>
专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高?.5倍,同时,探针电流提高了10倍、/p>
高分辨率扫描透射电子显微镜成僎/h3>
高速,高灵敏度能谱分析:探针电?#215;10倌/h3>
操作简匕/h3>
配有各种选购件可执行各种评估和分析操佛/h3>
*近,该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪,进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时,该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置,可以以后加配球差校正进行升级、/p>
特点 |
高分辨率扫描透射电子显微镜成僎/h3>
- HAADF-STEM图像0.136nm,FFT图像0.105nm(高分辨率镜夳span>?(/span>(/li>
- HAADF-STEM图像0.144nm(标准镜头)
- 明场扫描透射电子显微镜图?.204nm(w/o球差校正仪)
高速,高灵敏度能谱分析:探针电?#215;10倌/h3>
- 元素面分布更迅速及旵/li>
- 低浓度元素检浊/li>
操作简匕/h3>
- 自动图像对中功能
从样品制备到观察分析实现无缝连接
- 样品杆与日立聚焦离子束系统兼宸/li>
配有各种选购件可执行各种评估和分析操佛/h3>
- 同时获取和显示SE&BF SE&DF BF&DF DF/EDX面分市span>?(/span> 和DF/EELS面分市span>?(/span>图像、/li>
- 低剂量功胼span>?(/span>(使样品的损伤和污染程度降至*低)
- 高精度放大校准和测量?(/span>
- 实时衍射单元?(/span>(同时观察暗?扫描透射电子显微镜图像和衍射图案(/li>
- 采用三维微型柱旋转样品杆?60度旋转)?(/span>,具有自动倾斜图像获取功能、/li>
- ELV-3000即时元素面分布系绞span>?(/span>(同时获取暗?扫描透射电子显微镜图像)
?(/span> 选购仵/p>
技术指栆/h2>
HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镛/h3>
项目
|
描述
|
|
图像分辨玆/span> | w/o球差校正?/span> |
保证 0.204nm(当放大倍数??00?00时) |
w球差校正?/span> | 保证 0.144 nm(当放大倍数??00?00时)(标准镜头) | |
保证 0.136nm(HAADF图像(/p> 保证0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数??00?00时)(高分辨率镜夳span>?(/span>(/span> |
||
放大倍数 | 100 10?00?00倌/span> | |
加速电厊/span> | 200 kV 120 kV?(/span> | |
成像信号 | 明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像(/p> 暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像(/p> 二次电子图像(SE图像(/p> 电子衍射?(/span> 特征X射线分析和面分布(能谱分析)?(/span> 电子能量损失谱分析和面分布(EV3000(span>?(/span> |
|
电子光学系统 | 电子溏/span> | 肖特基发射电子源 |
冷场致发射器?(/span> | ||
照明透镜系统 | 2-段聚光镜镜头 | |
球差校正?span>?(/span> | 六极镜头设计 | |
扫描线圈 | 2-段式电磁感应线圈 | |
原子序数衬度收集角控刵/span> | 投影镜设讠/span> | |
电磁图像位移 | 1 m | |
试片镜台 | 样品移动 | X/Y = 1 mm Z = 0.4 mm |
样品倾斜 | 单轴-倾斜样品杆:30(标准镜头) 18(高分辨率镜夳span>?(/span>(/span> | |
真空系统 | 3个离子泵?个TMP | |
极限真空 | 10-8Pa(电子枪), 10-5Pa(样品室(/span> | |
图像显示 | 个人电脑/操作系绞/span> | PC/AT兼容 Windows?XP |
监视?/span> | 19-inch液晶显示器面松/span> | |
图像帧尺寷/span> | 640 480 1?80 960 2?60 1?20 象素 | |
扫描速度 | 快扫,慢扫(0.5?20秒/帧) | |
自动数据显示 | 记录序号,加速电压,下标尺,日期,时闳/span> |
?(/span> 选购仵/font>
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