原子分辨�?00 kV透射电子显微镛�/strong>

在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，先进材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具、�/p>

为了满足这种高端需求，日立高新技术公司研发出� H-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用�?*的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息、�/p>

用户友好型的操作系统

• 和Windows^?兼容的图形用户界面设讠�/p>

• 快速的样品分析�?分钟换样�?分钟内升高压�?300 kV)

• 高稳定性，高分辨率透射电子显微镛�/p>

高稳定性，高分辨率透射电子显微镛�/h3>

• 点分辨率�?.18 nm，晶格分辨率�?.1 nm

• 稳定可靠�?轴优中心测角�?/p>

• 性能优异，可靠性高

性能优异，可靠性高

• 得到市场验证�?0级加速器电子枪设讠�/p>

• 阻抗式高压电缆设讠�/p>

• 高档可选附仵�/p>

高档可选附仵�/h3>

• 通用样品杆，在日立公司的TEM� FIB � STEM系统均可使用

• 可为原子分辨率的动态研究提供加热，冷却和气体注入等多种样品杅�/p>

备注：FPD(平板显示�?上的图像为模拟图像、�/span>

规格

项目		说明
分辨玆�/th>		0.10nm(晶格分辨�? 0.18nm(点分辨率)
加速电厊�/th>		300kV�?00kV*1�?00kV*1
放大倍率	连续放大模式	1�?00�?�?00�?00��
	选区模式	4�?00�?00�?00��
	低倍模弎�/th>	200�?00��
电子�?/th>	灯丝	LaB6(六硼化镧灯丝，直流加�?
	灯丝交换	自动升降式电子枪
	高压电缆	阻抗电缆
照射系统	透镜	四级透镜
	聚光镜光阐�/th>	4孔可受�/td>
	探针尺寸	微米束模式：0.05 - 0.2 ��m(4�? 纳米束模式：1 - 10 nm(4�?
	电子束倾斜	��3��
成像系统	透镜	五级透镜
	聚焦	图像摇摆调整 利用像散监视器进行正焦补偾�/p> 聚焦优化
	物镜光阑	4孔可变光阐�/td>
	选区光阑	4孔可变光阐�/td>
电子衍射		选区电子衍射 纳米探针电子衍射 会聚束电子衍尃�/td>
	相机长度	250 - 3�?00 mm
样品宣�/th>	样品�?/th>	5轴优中心海帕测角�?/td>
	样品尺寸	3mm��
	样品位置追踪	X/Y = ��1mm� Z = ��0.3 mm 通过CPU控制马达驱动
	样品位置显示	自动驱动，自动跟�?/td>
	样品倾斜	�� = ��15��� �� = ��15�� (日立双倾样品台*2)
	防污柒�/th>	冷阱
	烘烤功能	中温烘烤功能
观察宣�/th>	荧光屎�/th>	主屏�?10 mm�� 聚焦屏：30 mm��
	目镜	7.5��
照相宣�/th>	区域选择	整张照相/半张曝光
	胶片	25�?2套胶片盒)
图形用户界面		操作系统：Windows XP?
	显示�?/th>	19英寸显示�?/td>
	功能	数据库，测量，图像处琅�/td>
数码CCD 相机*3	相机耦合	透镜耦合
	有效像素	1�?24 �� 1�?24 像素
	A/D 分辨玆�/th>	12佌�/td>
真空系统	电子�?/th>	离子泵：60 L/s
	镜筒	涡轮分子泵：260 L/s
	观察�?照相宣�/th>	扩散泵：280 L/s 前级泵：135 L/min �� 3�?/td>

• *1：放大倍率校准为可选项

• *2：可选件

• *3：本规格适用于可选的1�?24 �� 1�?24像素的数码CCD相机

以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺