日立高新技术公司于2016�?�?5日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑，占地面积小，但分辨率不输大型电镜，同时操作极其简便，几乎不用培训就可操作。紧凑型设计，分辨率�? nm、�/p>

扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析，在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用� 近年来，扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加，而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此，体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机�?50mm、长640mm，相比SU1510型号体积减小52%，重量减�?5%，功耗减�?0%，且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离，安装非常灵活、�/p>

FlexSEM 1000采用**设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器，分辨率高�?nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能，操作简便，即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外，新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航，一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野、�/p>

紧凑型VP-SEM FlexSEM 1000

(主机与供电单元可分离)

特点９�/strong>

a. 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD^*2），实现低加速电�?低真空下高质量图像观寞�/p>

b. 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片

c. 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视重�/p>

d. 大窗口（30 mm²）SDD能谱系统，便于快速分析元素成刅�sup>*2

*1 设置在桌面时，分离主机和电源箰�/span>

*2 选配

项目		内容
分解胼�sup>*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式（�/p> 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式（�/p> 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式（�/span>
加速电厊�/span>		0.3 kV � 20 kV
放大倍率		6�� � 300�?00�� （底片倍率（�/p> 16�� � 800�?00�� （显示倍率（�/span>
低真空模弎�/span>		真空范围�? � 100 Pa
电子�?/span>		预对中钨灯丝
样品�?/span>		3-轴自动马达台 X�? � 40 mm� Y�? � 50 mm� Z�? � 15 mm R�?60��� T�?15�� � �?0��
**样品尺寸		直径80 mm
**样品高度		40 mm
尺寸		主机�?50（W� x 640（D� x 670（H� mm 供电单元�?50（W� x 640（D� x 450（H� mm
探测器选配		高灵敏度低真空二次电子探测器（UVD（�/span> 能量分散型X线探测器（EDS（�/span>