规格型号

JTM-3020

工作�?/span>

玻璃台尺寸（mm（�/span>

350*250

运动行程＇�span>mm（�/span>

300* 200

Z轴电动升降行稊�/span>(mm)

120

光栅尺分辨力(��m)

0.1��m

X�?/span>Y坐标示值误�?/span>(��m)

1.5+ L/200 (L为测量长度，单位mm)

影像系统

彩色1/2“�/span>CCD摄色机：；结合测量软仵�/span>QMS3D-M

显微镜系绞�/span>

三目夳�/span>

目镜９�/span>10倌�/span>

滤光片：黄、绿、蓝、白

量测模式：反射，透射，偏先�/span>

5孔物镜转换镜

照明系统

透射照明光源：白先�/span>LED，亮度可谂�/span>

同轴照明光源９�/span>12V 100W卤素灯，亮度可调

物镜

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距离(mm)

18.0

15.0

4.5

11.0

总放大倍率

目视

50X

100X

200X

500X

19寸视颐�/span>

301.625X

603.25X

1206.5X

3016.25X

高度量测模块

（选配件）

白光干涉高度测量模块(M10-CA)＋�/span>高度量测分辨玆�/span>0.5��m (选配):倍率10X，工作距禺�/span>5mm，光学分辨力2um

其他参数

外形尺寸(mm)

825*660*910

仪器重量(kg)

850

电源功耖�/span>

~220V 50/60Hz < 60W(不包含计算机)