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北京中科科仪股份有限公司
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SBC-16是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜、/span>
主要特?/span>
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表靡/span>受损、/span>
操作容易快捷＋/span>控制的参数包括放气以及氩氓/span>换气控制、/span>
数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响＋/span>可得到一致的镀膜速率?*的镀膜效果、/span>
可使用多种金属靶材：Au＋/span>Au/Pd,＋/span>Pt,＋/span>Pt/Pd＇/span>Au靶为标配），靶材更换快速方便、/span>
技术参?/span>
溅射系统 |
|
靶材 |
Au靶为标配，可逈/span>Pt，直徃/span>57mm x 0.1mm厙/span> |
标准样品?/span> |
可以装载12?/span>SEM样品座，高度可调范围丹/span>60mm |
旋转倾斜样品台（选配（/span> |
旋转速度９/span>0~60rpm连续可调，倾斜角度９/span>-90°~ 90°连续可调：/span> 不锈钢腔体：直径120mm X髗/span>75mm：/span> 观察窗：直径120mm X髗/span>45mm：/span> 标配旋转台直徃/span>40mm，可攽/span>4个标准样品台＋/span>其它规格可订做；具有双重锁紧装置＋/span>可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落、/span> |
溅射电流 |
微处理器控制＋/span>安全互锁，可调，电流5~30mA，程序化数字控制 |
计量?/span> |
真空９/span>Atm-1*10-3mbar，电流：0~99mA |
控制方法 |
带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器＇/span>1，/span>999s），自动抽气、溅射、关机后自动放气、/span> |
真空系统 |
|
抽气速率 |
133L/MIN |
极限真空 |
10-4mbar?/span> |
噪音 |
56dB |
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企业名称
北京中科科仪股份有限公司企业类型
信用代码
91110108722617934K法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
