序号

部件名称

技术参�?/span>

数量

单位

1

柱塞计量泴�/span>

美国SSISeries I

出口流量0.01-4.99mL/min、�/span>

3

�?/span>

2

气体质量流量控制�?/span>

北京七星D07，流野�/span>5L/min。型叶�/span>D07-11C

3

�?/span>

3

单向阀-缓冲罐组

316L不锈钢材质。外径约56mm，高度约170mm、�/span>

3

�?/span>

4

加热炈�/span>

双半圆开式炉，炉膛内�?0mm，长度为1000mm、�/span>

炉外壳材质为304不锈钡�/span>

2

�?/span>

5

反应箠�/span>

外径20mm内径9mm皃�/span>316L不锈钢管2核�/span>，长度为800mm。设计温�?/span>600ℂ�/span>，设计压劚�span>10MPa、�/span>

2

扸�/span>

6

冷凝�?接收罐组

316L不锈钡�/span>材质。罐体外径约73mm，高度约110mm。配循环冷却水接头、�/span>

2

奖�/span>

7

阀门、接头、管仵�/span>

全套阀门、卡套接头采用美囼�span>FITOK�?16材质、�/span>

背压阀采用美国Swagelok�?16材质。配置乙炔、氢气报警器、�/span>

1

扸�/span>

8

电控箰�/span>

控制两路气体质量流量，并控制汽化器、加热炉的温度。采用厦门宇电程序控温仪表、�/span>

1

�?/span>

9

支架

采用304不锈钢方管和不锈钢拉丝板焊接制作台式支架

1

�?/span>

10

报警�?/span>

配置氢气、乙炔报警器

1

�?/span>