仪器简介：

本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜)，仪器操作简单方便，

是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器、�/p>

技术参数：

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm　纯度�?9.999%

2、真空室：直径：160mm，高�?10mm

3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm

4．工作真空： 2��10^-1�?0^-1mbar

5.离子电流表：**电流�?0mA

6.计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间、�/span>

7.**电压�?1600DVC

8.机械泴�2�?每秒

9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，

10．真空气阀� 配有氩气专用进气口和微量充气调节，可连接��4*2.5mm软管、�/span>

主要特点９�/strong>

轻便、溅射面积大

靶材可按用户要求加工制作