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气体检测仪
其他
水质分析
测量/计量仪器
光学仪器及设夆/a>
混合朹/a>
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XP-703D半导体特气检漏仪技术参数:
叶/p>
XP-703D
检测对象气佒/p>
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等(/p>
检测原琅/p>
热线型半导体弎/p>
采样方式
自动吸引弎/p>
可检测浓?/p>
(单位:ppm(/p>
砷烷 磷烷 乙硼 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表礹/p>
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪?/p>
应答速度
10秒以冄/p>
主要特点9/strong>
- 二氧化氯检测仪
XP-703D半导体特气检漏仪产品特点9/p>
1.*适合于检测半导体特气的微量泄漏、/p>
2.采用声光报警、/p>
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