三块标准光栅可逈�/span>

54403130

(仅提供母光栅)

3600gr/mm光栅＋�/span>

光谱范围９�/span>4-16nm (77-310 eV)

出射端线色散: 0.2-0.5nm/mm

平均分辨玆�/span>: 0.05nm

54402130

1800gr/mm光栅＋�/span>

摄谱仪模式下

光谱范围９�/span>8-32nm(39-155eV)戕�/span>7-32.5nm

出射端线色散９�/span>0.04-0.1nm/mm

平均分辨率：0.1nm

54401130

550gr/mm光栅＋�/span>

摄谱仪模式下

光谱范围９�/span>30-125nm (10-41eV)

戕�/span>26-126nm

出射端线色散９�/span>0.08-0.3nm/mm

平均分辨率：0.3nm

光学设计

HJY**平面光栅加超环面镜光路设讠�/span>

焦长

1000 mm

孔径

f/48

分辨玆�/span>

低至0.02nm

波长驱动

步进电机＋�/span>USB2.0接口

高真穹�/span>

10^-6mbar

真空泵法�?/span>

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法�?/span>

DN100CF/ICF152

可选项:

狭缝

固定或内置可切换狭缝

超高真空

10^-9mbar配备DN100CF

真空泵法兰和DN40CF真空计法�?/span>